Pharos-SED-EDSG2 飞纳场发射扫描电镜

飞纳场发射扫描电镜(Pharos)采用肖特基场发射电子源,拥有背散射,二次电子等多种探测器,可以实现全自动操作、快速成像、不喷金观看不导电样品的功能特点。可应用于材料的表面微观形貌表征,在对样品几乎无损伤的情况下轻松获取高分辨率的图像;另一方面,该电镜集成了能谱一体化设计,也可以应用于材料的元素检测和低电压能谱分析。在材料微观形貌表征和组成结构分析方面具有非常突出的技术优势。

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主要技术参数

扫描电镜放大倍数范围:200×——2000000×;光学显微镜放大范围:20×——134×;

加速电压:2-15kV;分辨率:优于2nm;元素检测范围:B (5) to Am (95);

样品台:全自动马达样品台;定位:全自动样品定位与回溯;

探测器:背散射电子探测器(标配),二次电子探测器(可选),能谱探测器(可选);

电子源:肖特基场发射电子源;真空模式:高、中、低三种真空模式。

功能特色与应用方向

全自动操作、快速成像、不喷金观看不导电样品;可应用于材料的表面微观形貌表征,在对样品几乎无损伤的情况下轻松获取高分辨率的图像。另一方面,该电镜集成了能谱一体化设计,也可以应用于材料的元素检测和低电压能谱分析。

应用实例展示

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纳米金晶粒的表面形貌观测与表征。


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材料的表面能谱面扫。


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材料组成元素的检测与分析。

收费标准

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